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    分析儀器

    臺(tái)式掃描電子顯微鏡

    作者:管理員發(fā)布于:2017-03-17  瀏覽次數(shù):

    臺(tái)式掃描電鏡(臺(tái)式SEM)簡(jiǎn)介:
    臺(tái)式掃描電子顯微鏡(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)的概念是美國(guó)FEI公司(1997年原FEI和飛利浦電子光學(xué)合并而成)提出的,并與2006年正式發(fā)布了旗下的Phenom臺(tái)式掃描電鏡,并于2009年成立Phenom-World公司,專業(yè)研發(fā)并生產(chǎn)臺(tái)式掃描電鏡。相較于傳統(tǒng)大型SEM,臺(tái)式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡(jiǎn)便、價(jià)格便宜,最大放大倍數(shù)在100,000倍左右,快速抽真空,不用噴金測(cè)量不導(dǎo)電樣品等優(yōu)勢(shì)。此類新型儀器的出現(xiàn)填補(bǔ)了光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡之間的間隙,可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、食品藥品、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。
    臺(tái)式掃描電鏡(臺(tái)式SEM)組成:
    真空系統(tǒng):一般采用機(jī)械泵與分子泵聯(lián)動(dòng)
    電子槍:一般為L(zhǎng)aB6(六硼化鑭)、CeB6(六硼化鈰)或鎢燈絲,其中鎢燈絲的壽命較短,僅為40-100小時(shí),需頻繁更換,LaB6、CeB6燈絲壽命超過1000小時(shí),且亮度更高。目前尚沒有采用場(chǎng)發(fā)射(Field Emission)的臺(tái)式掃描電鏡。
    電磁透鏡
    探測(cè)器:背散射電子或二次電子探測(cè)器

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