臺式掃描電子顯微鏡

作者：管理員發(fā)布于：2017-03-17  瀏覽次數(shù)：

臺式掃描電鏡(臺式SEM)簡介：
臺式掃描電子顯微鏡(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)的概念是美國FEI公司(1997年原FEI和飛利浦電子光學(xué)合并而成)提出的，并與2006年正式發(fā)布了旗下的Phenom臺式掃描電鏡，并于2009年成立Phenom-World公司，專業(yè)研發(fā)并生產(chǎn)臺式掃描電鏡。相較于傳統(tǒng)大型SEM，臺式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡便、價格便宜，最大放大倍數(shù)在100,000倍左右，快速抽真空，不用噴金測量不導(dǎo)電樣品等優(yōu)勢。此類新型儀器的出現(xiàn)填補(bǔ)了光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡之間的間隙，可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、食品藥品、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。
臺式掃描電鏡(臺式SEM)組成：
真空系統(tǒng):一般采用機(jī)械泵與分子泵聯(lián)動
電子槍:一般為LaB6(六硼化鑭)、CeB6(六硼化鈰)或鎢燈絲，其中鎢燈絲的壽命較短，僅為40-100小時，需頻繁更換，LaB6、CeB6燈絲壽命超過1000小時，且亮度更高。目前尚沒有采用場發(fā)射(Field Emission)的臺式掃描電鏡。
電磁透鏡
探測器:背散射電子或二次電子探測器